การศึกษาสภาวะที่เหมาะสมของการเคลือบผิวโมลิบดินัมคาร์ไบด์ด้วยกระบวนการสปัตเตอริง :รายงานการวิจัยฉบับสมบูรณ์ โครงการ

Abstract

สภาวะที่เหมาะสมเป็นสิ่งหนึ่งที่มีความสำคัญต่องานเคลือบผิวโมลิบดินัมคาร์ไบด์ (MoC) ที่มีคุณภาพ ซึ่งได้จากการควบคุมพารามิเตอร์งานเคลือบผิวโดยการปรับปรุงผ่านระบบการวิเคราะห์ความถูกต้องเกี่ยวกับอิทธิพลของกระบวนการเคลือบผิว MoC ด้วยวิธีการสปัตเตอริงโดยการออกแบบการทดลอง ซึ่งพารามิเตอร์ทั้ง 3 พารามิเตอร์ในกระบวนการเคลือบผิว MoC ได้แก่กระแสไฟฟ้า, แรงดัน และอัตราส่วนระหว่างก๊าซอาร์กอนกับก๊าซอะเซทิลีน จะถูกนำมาทำการศึกษาเพื่อหาสภาวะที่เหมาะสมของค่าความแข็งสูงสุด ภายหลังการดำเนินการทดลองเชิงสถิติ พบว่า พารามิเตอร์ทั้ง 3 พารามิเตอร์ มีอิทธิพลต่อค่าความแข็ง บทสรุปงานวิจัย คือ สภาวะที่เหมาะสมของกระบวนการเคลือบผิว MoC ด้วยวิธีการสปัตเตอริงที่สามารถทำให้ได้มาซึ่งค่าความแข็งสูงสุด ได้แก่ กระแสไฟฟ้า (DC) ที่ 0.4 A, แรงดัน (Pressure) ที่ 0.0040 mbar และอัตราส่วนระหว่างก๊าซอาร์กอนกับก๊าซอะเซทิลีน (Ar/C2H2) ที่ 0.50